スパッタリング電源

真空放電電源

DCS series

特長・用途

サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用したドロッパ方式を採用している高性能のスパッタリング用の直流安定化電源装置です。

アナログ回路設計で制御しておりますので、デジタル回路設計に比べて低価格でのお客様のご要望に添った受注生産でオーダーメイドな特殊制御にも優れております。

ドロッパ方式を採用しておりますので入力変動、負荷変動、リップルノイズがとても低い高電圧・高電流電源であります。何十年と長持ちしている実績を持ち耐久性にも優れております。

出力特性は定電力・定電圧・定電流での制御移行型としたもので、抵抗性負荷の出力電圧・出力電流のリモートプログラミングを行うこともできます。また保護回路として、過電圧・過電流・過温度を設けて安全対策に十分留意してあります。その他、一般的な保護機能のほかにスパッタ―電源として特有の保護　ノイズ対策、異常放電対策などの機能を装備しています。

研究開発や品質管理から生産現場までのあらゆる分野の仕様実績をもつ高性能・高信頼性の可変型直流安定化電源です。

スパッタ装置として各種あることから、様々な技術分野で広く使われていて、最近では、高品質の薄膜が要求される半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスク用の薄膜にもスパッタ装置が使用されています。

機能特性

・電源の出力モードは定電力・定電流・定電圧の３つのモードでコントロールすることが可能です。
・定電圧：0V〜650V　最大電圧はお客様のご希望の仕様に対応させます。
・定電流：0A〜70A　最大電流はお客様のご希望の仕様に対応させます。
・定電力：0w〜45.5kw　最大電圧はお客様のご希望の仕様に対応させます。
・長年に渡る十分な実績に裏づけされた回路によって、リップル・ノイズ・過渡応答を極限まで低減

保護機能

・各種セーフティ機能を装備し、過電圧保護装置（OVP）や過温度保護等のプロテクション機能搭載
・一般的な電源保護機能の他に、ノイズ対策機能・アーキング瞬時遮断機能を設けています。
・スイッチング型電源では対処出来ないＥＭＩ問題を根本から解決
・一般仕様では温度ドリフト100ppm／℃を保証
・部品の最適化 強制空冷強化等にて10ppm／℃の低温度ドリフトも達成可能（オプション）
・スパッター電源として低周波チョーク、高周波RFフィルタを標準装備
・出力電流が逆流しないように逆流防止用の保護機能を搭載

各種機能

・無負荷で電圧モニターをしながら過電圧プリセット可能（オプション）
・外部への出力モニタ信号（標準DC0〜10V）を標準装備
・リモート起動、外部コントロールによるリモートコントロール制御が可能
・通信インターフェイスとしてGP-IBによるPC自動運転が可能（オプション）
・マスターコントロール、スレーブコントロールの対応可能（オプション）
・大型電源の場合、操作部と本体部を分離し、操作部をＪＩＳラックへ組み込むことも可能です。
・パルスタイプも対応（オプション）
・一つの電源で多数連結チャンネル型も可能。（オプション）

標準共通仕様

真空放電電源　DCS series　"共通仕様"
入力電源 （３種の１つを選択）		単相100V ±10％ 50/60Ｈｚ		リモート制御	定電圧/定電流/定電力のリモート制御
		単相200V ±10％ 50/60Ｈｚ		対接地電圧	最大出力電圧 ＋200VDC
		三相200V ±10％ 50/60Ｈｚ		冷却	ファンモーターによる強制冷却
出力制御		定電圧／定電流／定電力の動作を各モードに切替		入力端子	背面端子台
出力制御表示		定電圧／定電流／定電力の動作をランプ表示		出力端子	背面端子台
出力電圧	出力電圧	0V〜最大電圧		周囲温度	0〜40℃
	可変	ポテンションメーターによる連続可変		温度係数	100PPM/℃ （定電圧、標準値）
	定電力制御時 定電流制御時	連続定格		保護制御装置	過電圧保護 過電流保護 ヒューズ出力遮断 異常放電制御 逆流保護
出力電流	出力電流	0A〜最大電流
	可変	ポテンションメーターによる連続可変
	定電圧制御時 定電力制御時	連続定格
出力電力	出力電力	0W〜最大電力		オプション	・計器類デジタル表示 ・リモート起動制御 ・水冷機能 ・GP-IB制御 ・電圧センシング端子 ・パルス出力
	可変	ポテンションメーターによる連続可変
	定電圧制御時 定電流制御時	連続定格
出力極性		正または負
出力計器		電圧計、電流計 出力電力計 アナログ2.5級

型式別仕様

スパッタリング電源装置　DCS型　"標準品 仕様一覧"
型　式	出力電力	最大電圧	最大電流	筐体寸法
	（kW）	（V）	（A）	（W）	（H）	（D）
DCS600-0.5	0.3	600	0.5	480	200	500
DCS650-1	0.65	650	1	480	250	500
DCS650-5	3.3	650	5	480	530	530
DCS650-10	6.5	650	10	480	950	630
DCS650-20	13.0	650	20	480	950	630
DCS650-30	19.5	650	30	600	1140	780
DCS650-40	26.0	650	40	600	1140	780
DCS650-50	32.5	650	50	900	1490	980
DCS650-60	39.0	650	60	900	1640	1200
DCS650-70	45.5	650	70	900	1640	1200