真空放電電源

DCS series

各種イオンソース用セット電源　DS型

プラズマ生成用電源からイオン化促進用、フォーカス用、バイアス用など、複数台の電源をJISラックに収納し、コントロールパネルにてリモート制御するまで一貫した電源装置を製造します。RF電源との重畳用も可能です。客先制御盤にあわせた寸法製作も対応します。

●型式

製作例１
コントロールパネル 1式
熱電子発生用フィラメント電源 4セット
プラズマ発生用アノード電源 4セット
フォーカス用電源 4セット
バイアス用電源 1セット
上記システムを盤面1800HのJISラック2本に収納

●型式

製作例２
コントロールパネル
1式
熱電子発生用フィラメント電源 1セット
プラズマ発生用アノード電源 1セット
サプレッサ電源 1セット
アーキング防止用ニュートラライザ電源 1セット
ビーム収束用電源 1セット
イオン加速電源 1セット
上記システムを盤面1350HのJISラックに収納