真空放電電源
DCS series
HCD放電電源・アーク放電電源 DH型
サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。サイリスタ位相制御のみのコンパクトタイプの製作も可能。

カソード(Cathode)、坩堝(るつぼ)の製造も承ります。仕様の詳細は担当までご連絡下さい。
DCS series
サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。サイリスタ位相制御のみのコンパクトタイプの製作も可能。

カソード(Cathode)、坩堝(るつぼ)の製造も承ります。仕様の詳細は担当までご連絡下さい。
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