真空放電電源

DCS series

真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、イオン注入などに欠かせない直流電源をカスタマイズ製作いたします。多くの実績から放電時に発生するノイズ処理、フィルタ設置等の専門見地を数多く有しており、親切丁寧に対応いたします。OEM製作も承ります。

バリエーション　：真空放電電源

●スパッタ電源　DCS型: サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。
●バイアス電源・プラズマエッジング電源・イオン加速電源　DP型: 各種イオンプレーティング用のバイアス電源やプラズマエッチング、イオン加速用電源など真空プラズマシステムに必要な直流安定化電源装置です。
●各種イオンソース用セット電源　DS型: プラズマ生成用電源からイオン化促進用、フォーカス用、バイアス用など、複数台の電源をJISラックに収納し、コントロールパネルにてリモート制御するまで一貫した電源装置を製造します。
●HCD放電電源・アーク放電電源　DH型: サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。