パルス電源

HP series

パルス電源　HP型

●性能・特徴

・平和電源独自の制御方法により,安定したパルス電圧を出力します
・真空放電装置のアーキング防止を目的としたパルススパッタリング,パルスエッチングまたパルスバイアスによるＰＢＩＩ技術に使用することが出来ます
・あらゆるパルス出力を必要とする用途に,大容量・広域なデューティコントロール,周波数可変等の幅広い仕様で対応します
・負荷インピーダンスによってパルス立下りに影響を与えるような負荷には,立下り改善を可能とする特殊型も製造します
・実験・開発用として,パルス波形を常時観察できる波形モニター付きのものも対応可能（オプション）
・パルスの高速立ち上がりを実現しました立ち上がり時間200〜500ナノ秒以下

●型式

出力電圧 0〜3kV
最大電力 100kW（デューティ50％以下の場合）

●標準仕様

パルス電源　HP series　"共通仕様"
電源	単層200Ｖ±10% 50/60Hz	過電圧	表面パネルにて設定可
出力電圧	0〜最大、ポテンションメーターによる連続可変	対接地電圧	最大出力電圧＋200VDC
出力電流	リミッタによる任意設定	計器	電圧計、電流計、周波数計、デューティ計
制御方式	定電圧制御	リモート制御	定電圧制御のリモート制御可能
可変周波数	10Hz〜20kHz	入力端子	背面端子台
デューティ幅	5〜50%	出力端子	背面端子台
極性	正または負	冷却	ファンモーターによる強制冷却
周囲温度	0〜40℃	オプション	・デジタル計器類 ・リモート起動制御 ・GP-IBによるPC制御
温度係数	100PPM/℃(定電圧、標準値)