パルス電源

HP series

立ち下り改善パルス電源　HPS型

●性能・特徴

従来のパルス電源では負荷側のインダクタンスやリアクタンスが大きい負荷では波形の立下りが鈍くなり、それが過度になると、波形同士がくっつき、パルス効果は減少します。また、なだらかな電圧の立下りにより負荷側が重大な影響をうけるシステムではこれは深刻な課題でした。弊社では独自の手法を開発し、迅速な立ち下げ性能を確保します。

●型式　例１

　
５kV 10kW型 パルス電源 波形モニター装備型

負荷種別　P-CVD（真空放電装置）

<負荷条件>
電源種別 高電圧型パルス電源HPH型
放電電圧 1.8ｋV
放電電流（ピーク値） 0.12A
周波数 2kHz
デューティ 50％

<負荷条件>
電源種別 高電圧型パルス電源HPS型（立下り改善型）
放電電圧 1.3ｋV
放電電流（ピーク値） 2.0A
周波数 2kHz
デューティ 50％

●標準仕様

パルス電源　HP series　"共通仕様"
電源	単層200Ｖ±10% 50/60Hz	過電圧	表面パネルにて設定可
出力電圧	0〜最大、ポテンションメーターによる連続可変	対接地電圧	最大出力電圧＋200VDC
出力電流	リミッタによる任意設定	計器	電圧計、電流計、周波数計、デューティ計
制御方式	定電圧制御	リモート制御	定電圧制御のリモート制御可能
可変周波数	10Hz〜20kHz	入力端子	背面端子台
デューティ幅	5〜50%	出力端子	背面端子台
極性	正または負	冷却	ファンモーターによる強制冷却
周囲温度	0〜40℃	オプション	・デジタル計器類 ・リモート起動制御 ・GP-IBによるPC制御
温度係数	100PPM/℃(定電圧、標準値)